|
|
 |
|
|
|
|
Уводни део:
Диелектрици имају веома широку примену у микроелектроници, нарочито када је реч о изрди инегрисаних кола. Као материјали представљају основну плочицу на којој се праве танкослојна и дебелослојна инегрисана кола.
--------------------------------------------------------------------------
Средишни део часа:
У микроелектроници се употребљавају најчешће као:
1. материјали за хибридна интегрисана кола
2. изолациони и диелектрични слојеви код инегрисаних кола
3. за израду кућишта код инегрисаних кола
Као материјали у обзир долазе различити керамички материјали на бази алуминијума или берилијум-оксида, као и стакло. Материјали који се користе за формирање слојева поред уобичајених захтева( велика специфична електрична отпорност, велика диелектрична чврстоћа и мали диелектични губици) морају да буду:
* компатибилни са материјалом од кога је изграђена подлога
* хомогени, са што мање пора, пукотина и нечистоћа
* једноставни за израду
* постојани на високим температурама
Ови материјали се обично примењују као:
- диелектрици у кондезаторима (Ta2O3, SiO2)
-површински слој код полупроводничких Si-интегрисаних кола
- изолациони и диелектрични слојеви између полупроводника силицијума и металних
електрода, на пример код мосфет транзистора
-изолациони слојеви преко којих се наносе металне везе код чипова.
Постоје и изолациони материјали који се употребљавају за израду заштитних кућишта
односно за затапање интегрисаних кола ради заштите, углавном различите врсте
смола -епоксидне смоле, силиконске смоле, али и керамичким материјали као
алуминијум-оксид. Предност смола је у ниској цени, а керамичка заштита много боље
штити од продора влаге. |
Питања за домаћи:
1. Примена диелектрика у микроелектроници?
2. Које додатне особине треба да имају диелектрични материјали да би се примењивали у микроелектроници?
3. Где се примењују такву материјали? |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Пројекат “Е-Знање Ужице“ изведен је под покровитељством Министарства просвете и спорта Републикe Србијe, финансиран од стране Европске Уније, као део иновационог фонда “ВЕТ Србија“.
